2차원 소재 기반 서브 나노초 플래시 메모리 소자: 제작 및 모델링

연구원들은 2차원(2D) 소재(WSe2, 그래핀, hBN) 기반의 서브 나노초 플래시 메모리 소자를 제작했습니다. 제작 과정에는 전자빔 리소그래피, 원자층 증착, 기계적 박리 등이 포함되었습니다. 소자의 구조와 성능은 원자간력 현미경, 투과전자현미경, 에너지 분산형 X선 분광법으로 특성 분석되었습니다. 소자의 전기적 특성을 시뮬레이션하기 위한 준 2차원 모델이 개발되었고, 그 타당성이 실험적으로 검증되었습니다. 이 연구는 고성능, 저전력 차세대 플래시 메모리 소자 개발을 위한 새로운 방향을 제시합니다.