国家EUV加速器落户奥尔巴尼 (research.ibm.com)

美国商务部宣布，纽约州立大学纳米技术综合中心（Albany NanoTech Complex）将设立国家半导体技术中心（NSTC）EUV加速器。IBM是该中心的 主要合作伙伴。该加速器将有助于确保北美在尖端半导体研究、开发和制造方面的领先地位。EUV光刻技术是半导体供应链的关键组成部分，IBM在该领域取得了多项突破。新的EUV加速器将设在Albany NanoTech Complex，IBM几十年来一直是该中心的主要租户，并在那里取得了许多半导体研究的重大突破。该中心目前正在建设一个新的研发制造设施，以容纳北美首台公私合作的高数值孔径（High NA）EUV机器。