粒子加速器：摩尔定律的未来？
2024-06-13
本文探讨了利用粒子加速器推动EUV光刻技术发展，以降低芯片制造成本的可能性。当前，EUV光刻机使用的激光产生等离子体技术成本高昂且效率低下。日本KEK的研究人员正在开发一种基于紧凑型能量回收线性加速器的自由电子激光器，它可以更经济高效地产生EUV光。该技术面临着诸多挑战，包括需要开发新的关键组件和确保系统稳定性，但如果成功，将有可能为摩尔定律的延续提供新的动力。
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EUV光刻