Más Allá de la Litografía: Los Aceleradores de Partículas Podrían Revolucionar la EUV
2025-03-20
La fabricación de los objetos más pequeños y complejos del mundo, los chips semiconductores, empuja los límites de la física. La litografía ultravioleta extrema (EUV), que utiliza luz de onda corta para grabar patrones nanométricos en silicio, está a la vanguardia. El enfoque innovador de ASML utiliza láseres para vaporizar gotas de estaño, generando luz EUV de 13,5 nm. Sin embargo, los investigadores están explorando aceleradores de partículas para generar haces EUV aún más potentes, impulsando electrones a velocidades cercanas a la de la luz, lo que podría revolucionar la fabricación de chips.
Tecnología
litografía EUV