ما وراء الطباعة الحجرية: مسرعات الجسيمات قد تحدث ثورة في تقنية الأشعة فوق البنفسجية القصوى
2025-03-20
يُعد تصنيع أصغر وأكثر الأشياء تعقيدًا في العالم - رقائق أشباه الموصلات - تحديًا لقوانين الفيزياء. وتُعد تقنية الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUV)، التي تستخدم ضوءًا قصير الموجة لحفر أنماط نانوية على السيليكون، في طليعة هذا المجال. وتعتمد طريقة ASML المبتكرة على استخدام الليزر لتبخير قطرات القصدير، مما ينتج ضوء EUV بطول موجي 13.5 نانومتر. ومع ذلك، يستكشف الباحثون مسرعات الجسيمات لإنتاج حزم EUV أكثر قوة من خلال دفع الإلكترونات إلى سرعات تقترب من سرعة الضوء، مما قد يحدث ثورة في تصنيع الرقائق.