超新星から生まれたチップ：天体物理学が半導体製造の課題を解決

この記事では、著者とチームが超新星爆発の理解を活かし、極端紫外線リソグラフィにおける長年の課題であったスズデブリ問題を解決した方法を説明しています。超新星爆発による衝撃波とプラズマデブリを、彼らのEUV光源と比較することで、水素ガス流を巧みに用いてスズデブリを除去。これによりEUV光源の安定性と信頼性が向上し、高度なチップ製造に大きく貢献しました。このストーリーは、異分野融合の面白さと基礎科学研究が実用的な応用へ繋がる原動力を示しています。