GPUによる計算リソグラフィの高速化：日数から数時間へ

現代の半導体製造は、特に深サブミクロンチップのリソグラフィにおいて、膨大な計算上の課題に直面しています。従来のOPC技術は計算能力に制限され、ILT技術は柔軟性が高いものの、膨大なリソースを必要とし、数千個のCPUコアを数日間使用する場合もあります。この問題に対処するため、NVIDIA、TSMC、Synopsysは協力して、リソグラフィコードをCPUからGPUに移行し、大幅な高速化を実現しました。アルゴリズムの最適化とGPU並列処理の利点を活用することで、ILTの計算時間を数日から1日未満に短縮し、15倍以上の速度向上を実現しました。この画期的な進歩は、半導体産業を大きく前進させる可能性を秘めています。