تصنيع شريحة كيوبت فائقة التوصيل: عملية مفصلة
2025-07-12
يُفصل هذا البحث عملية تصنيع شريحة كيوبت فائقة التوصيل، مُحسّنةً الطرق الحالية لتعزيز التكرارية. تتضمن العملية: استخدام رقاقة سيليكون بقياس 6 بوصات كركيزة، ترسيب فيلم نيوبيوم بسمك 200 نانومتر باستخدام تقنية الرش الكاثودي، التصوير الضوئي والحفر بالبلازما لإنشاء النمط على النيوبيوم، التصوير الإلكتروني لإنشاء وصلات جوزيفسون، ترسيب فيلم الألمنيوم لتكوين الوصلات، وأخيراً، التقطيع والإزالة. كما يصف البحث الإعداد التجريبي لوصف وقياس الكيوبتات، بما في ذلك نظام القياسات منخفضة الحرارة وسلسلة معالجة الإشارات. أظهرت وصلات جوزيفسون المصنعة تيارات حرجة أقل من المتوقع، مما أدى إلى انخفاض نسب EJ/EC.