IBM 如何发明了半导体制造自动化

本文讲述了IBM在20世纪70年代初如何发明了半导体制造自动化。当时，集成电路的生产周期长达一个月，而IBM的项目SWIFT旨在将其缩短至一天。在比尔·哈丁的领导下，该项目团队通过采用全自动化生产线、单晶圆处理、分段式加工等创新方法，最终实现了平均20小时的生产周期，并达到了与传统生产线相当的良率。虽然SWIFT项目寿命短暂，但其许多创新，如自动化控制、气动晶圆搬运、实时过程控制等，都为现代半导体工厂奠定了基础。