来自超新星的芯片:用天文物理学解决微芯片制造难题
2025-03-05

本文讲述了作者及其团队如何利用对超新星爆炸的研究,解决了极紫外光刻技术中困扰多年的锡碎片问题。通过类比超新星爆炸中产生的冲击波和等离子体碎片,作者团队巧妙地利用氢气流来清除锡碎片,从而提高了EUV光源的稳定性和可靠性,为先进芯片制造做出了重大贡献。这一故事展现了不同领域知识交叉融合的魅力,以及基础科学研究对实际应用的推动作用。
科技
极紫外光刻